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SK하이닉스, EUV 공정 고도화…신소재 'PSM' 도입 시작

_딘_ ·

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SK하이닉스, EUV 공정 고도화…신소재 'PSM' 도입 시작 | 지디넷코리아

위상변위마스크로 노광 성능 향상…차세대 EUV 공정에도 적용 검토


출처 : https://n.news.naver.com/mnews/article/092/0002433515?sid=105

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