"중국산 DUV개발업체는 국영 아이솅나 전자기술" [로이터] | 한국경제

"2022년 美 반도체장비수출규제후 자본금 1.5조원에 설립"

"추가 테스트 필요하며 아직 ASML모델과 거리 멀어"

중국내에서 처음으로 침지형 심자외선(DUV) 리소그래피 장비를 개발,생산에 나선 업체는 상하이에 있는 아이솅나 전자기술그룹이라고 로이터가 보도했다.

28일(현지시간) 로이터가 취재한 소식통에 따르면, 중국 국영기업으로 잘 알려지지 않은 상하이의 아이솅나 전자기술그룹이 중국 최고의 리소그래피 팀들을 영입해 침지형 DUV 리소그래피 생산을 주도하고 있다고 전했다.

그러나 이 업체의 심자외선 리소그래피는 당분간 네덜란드 공급업체인 ASML에게는 상업적인 위협이 되지는 않을 전망이다. 소식통은 아이솅나의 DUV 장비는 추가 테스트가 필요하며 네덜란드 ASML의 모델과는 아직 거리가 멀다고 전했다.

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EXCLUSIVE: China starts production of home-grown immersion DUV chipmaking tools - source | Reuters