14:00 KST - Nikon - 일본 이미징 및 광학기업 니콘은 자사의 리소그래피 노광장치인 DSP-100을 본격 출시한다고 발표했습니다.
반도체 백엔드 공정에서 사용되는 이 리소그래피 시스템은 최대 60cm x 60cm의 대면적 웨이퍼까지 가공이 가능하며 1.0μm의 고해상도 노광이 가능하다고 합니다. 또한 멀티 미러 세트 기술을 채용했으며 SLM(공간 광 변조기)를 통해 마스크 쉐도우 없이 회로를 직접 기판에 투사하여 노광시키는 원리를 가지고 있습니다.
니콘은 고해상도의 회로실현이 가능하고 기존 원형 웨이퍼보다 생산성이 향상되었다고 밝히고 있습니다. 니콘은 7월부터 주문을 받고 있으며 고객사에게는 2026년 상반기부터 인도가 가능하다고 덧붙였습니다.
